Ультратонкие кремниевые пластины

Описание продукции

Компания АКТИВ-СЭПЛАЙ поставляет ультратонкие кремниевые пластины (толщиной менее 250 микрон). Многолетние разработки и исследования позволяют производить пластины с двусторонней полировкой толщиной 8-12 мкм, а с односторонней полировкой толщиной до 90 мкм. Данные полупроводниковые материалы используются в основном для научных исследований и опытно-конструкторских работ. Диаметр ультратонких кремниевых пластин - 25.4 мм - 150 мм. Имеется возможность проводить их оксидацию. На сегодняшний день они обладают повышенными характеристиками поверхности и разнотолщинности TTV.

При работе с ультратонкими кремниевыми пластинами мы рекомендуем использовать микропинцеты с тефлоновым покрытием или модифицированные вакуумные схваты. Не смотря на то, что утратонкие подложки очень гибкие, все же они могут быть повреждены при неправильных усилиях, приложенных при работе с ними. Отмечена сложность работы с ультратонкими пластинами при использовании фильтров тонкой очистки воздуха (HEPA) и других систем воздухоподготовки т.к. пластины очень легкие и быстро меняют свое положение в таких условиях.