Кремниевые пластины

Описание продукции

Кремний - основа для производства многих полупроводниковых приборов. Компания ООО "Актив-Сэплай" предлагает к поставке высококачественные кремниевые пластины полученные методом CZ (Чохральского) илм методом FZ (зонной плавки). Такие кремниевые подложки применяются в высокотехнологичных отраслях производства и используются для изготовления микросхем, дискретных полупроводниковых устройтсв, МЭМС датчиков и проч. Мы можем обеспечить потребность клиента как в стандартных, так и в нестандартных кремниевых пластинах согласно техническому заданию заказчика.

Последние достижения в данной области позволяют производить пластины диаметром до 450мм. Применение таких заготовок приводит к снижению себестоимости производства микросхем. Основные характеристики поставляемых кремниевых пластин приведены ниже:

Диаметр пластины: от 25 до 450 мм

Метод получения: Чохральского, зонной плавки

Удельное сопротивление: 0,001 - 12000 Ом*см

Легирующая примесь: P, B, As, Sb

Тип проводимости: P, N

Расположение срезов: 1, 2 или по SEMI

Толщина пластины: 10 - 12000 мкм

Кристаллографическая ориентация: (100); (110); (111)

Разнотолщинность TTV: менее 1 мкм - 20 мкм

Полировка: односторонняя, двухсторонняя

Шероховатость поверхности: <0.5 нм