AZ Electronic Materials
Описание продукции
Компания AZ Electronic Materials (Merck Performance Materials) является одним из ведущих производителей специальных химических материалов для литографии высокого качества и чистоты, предназначенных для производства интегральных микросхем и дисплеев. Вы можете заказать продукцию AZ Electronic Materials у компании ООО "Актив-Сэплай". Ниже приведена базовая классификация материалов для литографии AZ Electronic Materials по сферам применения:
Фоторезисты высокого разрешения:
Тип резиста | Толщина (мкм) | Тип линии (длина волны) |
1 - 1.5 мкм | i-line и g-line | |
1 - 5 мкм | i-line, g-line и h-line | |
3 - 20 мкм | 320 - 440 нм |
Фоторезисты для гальванического осаждения:
Тип резиста | Толщина (мкм) | Тип линии (длина волны) |
1 мкм | 310 — 420 нм | |
5-20 мкм | i-line | |
20-150 мкм | i-line |
Фоторезисты для жидкостного травления:
Тип резиста | Толщина | Тип линии (длина волны) |
0,5 мкм | i,h,g line | |
1 мкм | 310 - 420 нм |
Фоторезисты для обратной литографии
Тип резиста | Толщина (мкм) | Тип линии (длина волны) |
1-2 мкм | 310 - 420 нм | |
1,5-20 мкм | i-line, e-beam |
Фоторезисты для других применений:
Тип резиста | Толщина | Тип линии (длина волны) |
AZ PL 177 - для окунания | 1-10 мкм | 310 - 440 нм |
AZ 4500 - позитивный толсто-пленочный резист | 2,5-15 мкм | 320 - 440 нм |
AZ 40XT - позитивный толсто-пленочный резист | 15-150 мкм | i, g, h line |
AZ 9200 - позитивный толсто-пленочный резист | 5-20 мкм | 320 - 440 нм |
Фоторезисты для сухого травления
Тип резиста | Толщина | Тип линии (длина волны) |
1-1,5 мкм | i, g line | |
1-5 мкм | 320 - 440 нм |
Резисты для электронной литографии:
AZ nLOF 2000 толщина 1,5 - 20 мкм для i-line
Активаторы адгезии и антиотражающие покрытия:
Тип активатора | Вид и применение | Тип линии и условия применения |
TARC (top anti reflective coating) Для верхнего антиотражающего покрытия | 2000 rev/min, 650 Å (i-line) | |
1-5 мкм (BARC - bottom anti reflective coating) Для нижнего антиотражающего покрытия | 3000 rev/min, 910 - 1970 Å (i-line) |